真空炉在使用中常遇见以下故障：(必须由相应技术人员处理)

一、电气故障

（一）温度异常，包括温度过高报警、或显示温度达不到设定值。

温度过高报警故障解除方法：

1. 首先检查所在工作区温控器参数是否正常，参考其他正常使用中的温控器校对所有参数。

2. 根据电路图检查相应工作区的固态继电器输出端是否被击穿，具本方法：停电后，用万用表电阻档测量固态继电器输出端两点之间的电阻，正常时，电阻会有几兆欧以上，如果被击穿，则几乎没有电阻，必须按同型号换上新的。

3. 在通电开机的情况下，用手轻摇相应工作区内的热电偶探头，看看所对应的温控器显示是否跳动幅度很大，如果有此现象，则说明热电偶探头接触不良，需更换新的。

显示温度偏低达不到设定值

1. 同样，首先检查所在工作区温控器的参数是否正常，是否有输出信号。

2. 检查所对应工作区的热电偶是否受损，为了验正这些热电偶是否良好，可将它们跟正常温控器上的热电偶互换接到温控器上，观察温度显示情况。如果确实是热电偶损坏，必须更换。(注意：如果更换的热电偶是内腔里的，还会涉及到真空密封性能，另外详解)

3. 如果温控器、热电偶都没问题，则需要测验发热管是否正常通电工作。方法：通电开机后，启动加热，根据电路图，直接用试电笔测试对应工作区的发热管连接的导线(在固态的输出端上白色高温线即是)，看是否有电到。如果有电到达，还需要用钳表测量一下电流是否与其他工作区的差别，正常情况下，差异不大。

4. 如果没有电到达，则必须按电路图对电路逐一检查，看看在哪个环节电截止了，是否有元件烧坏?

(二)真空异常现象

真空抽不上或偏低，

1. 首先确认厂房的真空气源是否正常(-95KPa以上)，压缩气压是否正常，(正常使用范围是0.4— 0.6 MPa)。

2. 检查真空表是否良好，对照正常使用中的真空表，看看参数是否正常?

3. 检查门是否关紧，门口的密封胶卷是否有破损，有变形，门板上是否沾有异物?请仔细检查!

4. 如果门没有问题，则需检查对应工作区的管道，气动阀，热电偶穿入口等位置。通常在热电偶入口处出现情况较多，因为如果有更换热电偶的，常常会破坏了真空的密封性能，必须重新打AB胶进行密封。

二、机械结构故障

1.门关不紧，检查门的合叶是否松动，拉扣是否变形，门口密封胶条是否破损，门板是否变形?

2.风机有异响，请仔细检查是否有异物进入风机的风轮里面，或固定电机马达的螺丝是否松动。

3.气动阀无法动作，首先检查对应的电磁阀是否能正常工作，压缩空气压力是否达到工作要求?如果气压正常，且电磁阀也良好，则肯定是气动阀本身坏了，必须更换新的。